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激光设备在半导体行业的应用
更新日期:2025-11-10 来源:http://www.longstartech.com.cn/
我们都知道激光设备在日常生活中应用的十分广泛,那么你知道其在半导体行业的应用有哪些吗?下面一起来看下吧。
在晶圆制造里,激光最常用的就是刻蚀、退火、修复。早期都是用化学或等离子体刻蚀,但精度和热影响控制不够理想。后来激光微加工技术成熟了,很多厂开始用激光刻蚀来代替部分传统工艺。再一个是晶圆划片。
传统的划片机是用金刚石刀片去切,但那种机械应力大,边缘容易崩。现在很多芯片厂,尤其是做功率器件或者MEMS芯片的,都改用激光划片。激光可以做到非接触切割,切口非常窄,而且不会产生粉尘,对后续封装更友好。
激光在封装环节里也越来越多,比如激光打标、焊接、除胶、开窗。打标大家都熟,用光纤或绿光激光器在芯片上刻型号和批次码,精度高、速度快。
焊接方面,激光能做金属线焊、封盖焊,尤其在气密封装或玻璃金属封接里,传统加热方式根本达不到那种局部精准加热的效果。激光能量集中,几乎不影响周围区域。
总的来说,激光技术在半导体行业的渗透,既是精度制造的需求推动,也是工艺升级的结果。
现在从晶圆到封装,每一步都有激光设备在参与。它不是一个单独的工序,而是整个工艺链条里一个不断优化的“工具”。未来像激光剥离、激光再熔、甚至激光辅助光刻这些新技术,估计都会越来越普及。
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